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第34章 不抢就换
    末日这种事当然是要上报啦 作者:佚名
    第34章 不抢就换
    陈进一想到张云似乎並非技术工程师的身份,还是耐心的解释了:
    “这台ssa600/20採用的是193nm氟化氬深紫外光源。
    它的曝光波长达到了28纳米,採用沉浸式光刻技术。
    配合我们自研的双工作檯系统,每小时能完成120片晶圆的曝光作业,套刻精度控制在3纳米以內。
    它的光源系统用了我们自己研发的准分子雷射器,稳定性比进口设备提升了15%。
    而且重点零部件国產化率超过80%。
    当然,和国际顶尖的5纳米光刻机比,还有差距。
    但这已经是我们目前能拿出的最好成果了。
    目前,我们还在集中攻克7纳米製程的量產问题。”
    陈进一的话有些无奈,龙国的半导体行业,尤其是光刻机技术还是太落后了些。
    谁都知道半导体领域想要突破,核心中的核心就是光刻机。
    如今龙国大部分高端晶片,都需要依赖进口生產。
    而且存在技术专利的问题,每年都要上一大笔授权费用。
    眼前这台机子已经是好几年前的產物了,光是7纳米级別的生產就已经卡了他们许多年。
    张云听完后,紧接著问道:
    “它在七纳米以下的製程上有什么问题吗?”
    陈进一没想到他会直接问出这个问题,愣了一下才回答:
    “问题还不少,主要是在多重曝光的叠加误差上。
    duv的波长是193nm,从根本上限制了解析度的理论上限。
    目前28纳米波长要实现7纳米製程,需要进行4次曝光。
    但每次曝光的定位误差会累积,目前最多只能稳定在9纳米左右,离量產要求的7纳米还有距离。”
    严正行听到这里,嘆了口气,心里摇了摇头。
    这就是他当初为什么离开龙国的原因了。
    和世界顶尖的光刻机相差数代的技术,要怎么靠努力去追赶?
    但靠张云可以呀!
    张云等人此次前来的目的,自然是为了解决晶片生產问题,使其能够在战备状態下提供应有的支持。
    不过张云还没有天真到,认为能几个月时间就造出一台超越euv光刻机的东西。
    虽然张云的脑中確实有全套光刻机的生產技术。
    但还是那个问题,技术消化也需要时间。
    即使拥有全套 euv技术图纸和原理知识,並得到国家最高权力的全力支持。
    想在两、三个月內从零打造出一台可用的euv光刻机,仍然是近乎不可能完成的任务。
    原因在於euv光刻机的製造不仅是技术问题,也是极端精密製造,全球顶级供应链整合和复杂系统工程的巔峰体现。
    老爱曾经说过,逻辑只能让你从a到b,但想像力可以带你到任何地方。
    三个月,你就想走在世界前列,这个想像力需要带著物理课本一起飞。
    那真不如去抢算了。
    其实原本张云提出的打算是,让国家乾脆派一支秘密部队抢了asml,直接解决所有问题!
    这家破公司可是一台euv都没卖给咱们。
    那天他还因为这件事情,和邱將军聊了很长时间。
    邱老爷子甚至差一点就要被张云说服了。
    毕竟等到末世降临,谁还管什么仁义道德。
    不过最终方案没有达成,龙国还是太讲武德了些。
    那怎么办呢?
    张云很快提出了b方案,高效,快捷,而且合法!
    虽然是不抢了,但我们可以换呀。
    张云提出的第二个方案,其实邱將军也是万分不情愿。
    甚至想要赶紧让人限制张云的行动,千万不能让他跟海外有所联络。
    这个方案就是,张云打算將更先进的光刻机光源系统卖给asml公司,用以购买实体光刻机全套!
    对於张云来说,他最宝贵也是最不值钱的,便是脑海中那万千的先进知识。
    能够拿出一点,来换取实质性的物品对他来说是非常划算的。
    因为他们现在最缺的不是知识,而是时间!
    在参观的差不多了之后,眾人又回到了会客厅。
    张云衝著严正行使了个眼色,对方心领神会,说道:
    “魏总,陈工,接下来我们要开展的项目,需要贵公司全力配合。”
    “当然没问题,您儘管说。”
    魏天华满脸笑意。
    “简单说,就是以严某的名义,在海微的技术基础上,研发一套全新的光刻机光源系统。”
    话音刚落,陈劲刚已从公文包中取出几份文件,推到魏天华面前:
    “这是保密协议,涉及国家最高级別的技术机密。”
    “签署之后,海微的中心实验室將由我们全权接管。”
    “原有科研团队可保留辅助岗位,但重点研发区域仅限指定人员进入。”
    魏天华拿起协议,仔细看了看,上面好几个公章都不简单,心中突然一紧。
    他原以为只是引进技术专家和研发资金,最多是成立个专项课题组。
    没想到会上升到“全权接管实验室”的地步。
    这已经不是合作,更像是一场由国家主导的神密研究。
    “这……陈科长。”
    魏天华咽了口唾沫,说:
    “中心实验室是我们海微的命根子,里面还有好几台正在调试的28纳米光刻机样机……”
    “请问这接管的范围是?”
    陈劲刚解释:
    “协议里写得很清楚,从签署这一刻起,实验室进入最高保密状態!”
    “所有进出人员需经过双重核验,通讯设备一律不准带入。”
    “內部数据只许在物理隔离的区域网內流转。”
    “实验室所有设备、原材料、甚至供电系统都將纳入统一调度。”
    “魏总放心,国家会按市场价对占用的资源进行补偿。”
    “项目结束后,实验室原貌归还,期间產生的所有技术专利,海微可共享使用权。”
    这时,一直沉默的陈进一忍不住开口:
    “严博士,您刚才说的新型光源系统……到底是什么技术路线?”
    duv的极限陈进一可太清楚了,难道是……euv?
    可他们连最基础的高能雷射等离子体光源都没摸透啊?
    严正行看向张云,见对方微微点头,才缓缓说道:
    “比euv更先进,具体原理现在没法多说,但可以透个底。
    它的波长能稳定在13.5纳米以下,而且不需要像现在的euv那样依赖极端复杂的反射镜组。”